アルザ®(アルミナジルコニア基板)

アルザ®は、アルミナ(Al₂O₃)とジルコニア(ZrO₂)を組み合わせたジルコニア強化アルミナ(ZTA)基板です。
高い機械強度と破壊靭性を兼ね備えた複合材料で、当社標準品(96%アルミナ基板)と比較して約1.5倍の曲げ強度を有しています。

アルミナにジルコニアを分散させることで、材料の脆さを抑制し、薄板化が可能になります。これにより、厚み方向の熱抵抗を低減し、発熱デバイスの効率的な放熱に貢献します。
発熱量の大きいパワーモジュールや車載用途など、高信頼性と放熱性の両立が求められる用途に最適です。

※ZTA(Zirconia Toughened Alumina)は、ジルコニア強化アルミナを指します。

アルザ®は当社のZTA基板の登録商標です。

主な用途
アルザ®は、高強度と放熱性が求められる以下の用途に適しています。
・IGBTパワーモジュール
・車載用電子部品
・工作機械など産業機器

IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)は、高耐圧・大電流用途に用いられる半導体素子です。

特長

高強度・高靭性

ジルコニア微粒子をアルミナマトリックス中に分散させることで、破壊靭性と機械強度を向上。
当社96%アルミナ基板と比較して、約1.5倍の曲げ強度を実現しています。

薄板化による放熱性向上

高強度により基板の薄板化が可能となり、厚み方向の熱抵抗を低減。
発熱デバイスの効率的な放熱に寄与します。

高平滑性

緻密で微細な構造により、表面の平滑性にも優れています。

材料特性

項目単位測定条件アルザ®96%アルミナ基板エフセラワン®
NA-ZNA-96NA-96F1
材質Al2O3-ZrO296%Al2O396%Al2O3
呈色白色白色白色
かさ密度g/cm34.13.73.7
吸水率%000
機械的特性3点曲げ強度MPa600400450
熱的特性熱膨張係数10-6/℃RT~400℃76.86.8
RT~800℃8.17.87.8
熱伝導率W/(m・K)20℃212323
電気的特性誘電率1MHz11.39.29.3
誘電正接10-41MHz121010
体積固有抵抗Ω・cm25℃>1014>10145×1015
300℃101110102×1012
500℃1091082×109
絶縁耐力kV/mm>20>20>20
※代表値であり保証値ではありません

デザインガイドライン

項目単位標準仕様特別仕様
外形寸法mm190×140~150×300
板厚mm0.25, 0.320.15, 0.25, 0.32
※上記以外のデザインについては別途ご相談ください

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利用されている商品

アルザ®は、以下のような製品に採用されています。

  • レーザー加工基板(高精度加工が必要な用途に)
  • ラップ加工基板(高い平面性が求められる用途に)
  • 厚膜印刷基板(回路形成用途に)
  • グレーズ基板(薄膜形成や高平滑性が求められる用途に)