ビブレックス®（圧電超音波モーター）
ビブレックス®とは圧電素子を使用したリニア型の超音波モータです。
圧電素子により超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動します。
ビブレックス®とは当社が開発した超音波モータの登録商標です。
特長
正確な微細動作
応答性に優れ、最小20nmの位置決め動作も可能です。
（USMA-30使用 弊社ドライバー制御時）
顕微鏡のステージなどの精密な位置決めが得意です。
磁気の影響を受けない
ビブレックス®は摩擦力を介して駆動させるモータであるため電磁モータのように磁気を使用していません。
強磁場環境で使用するＭＲＩなど、医療機器にもご利用いただけます。
小型 軽量 低速高トルク
ビブレックス®は当社独自の動作原理を採用しており、低速動作に減速機を必要としません。
そのため小型かつ軽量なモータでありながら低速高トルク特性を有しております。
静粛性に優れる
減速機を必要としないために、ギア音がなく静粛性があります。
無通電時に保持トルクを有する
摩擦駆動方式のため電源OFF時でも位置を保持することができます。
一般的な電磁モータと超音波モータの比較
| 電磁モータ | 超音波モータ | |
| 駆動力 | 磁力 | 摩擦力 |
| 位置決め精度 | ミクロンオーダ | ナノメートルオーダ |
| 電源OFF時の保持機能 | なし | あり |
| サイズ | 小型～大型 | 小型 |
| 電磁波 | 発生する | 発生しない |
| 静粛性 | 駆動音が聞こえる | 静か（聞こえない） |
性能
| 項目 | 単位 | USMA-10 | USMA-30 |
|---|---|---|---|
| 外形サイズ | mm | 22.4×13 | 31×34.5 |
| 推力 | N | 1.5 | 5 |
| 静止保持力 | N | 2.3 | 7.5 |
| 最大消費電力 | W | 0.8 | 4 |
| 重量 | g | 13 | 66 |
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関連動画
利用されている商品
- 顕微鏡ステージ(直動)
- 半導体検査装置
などの各種精密位置決め機構
FAQ
Q1.寿命はどれくらいですか？
A1.100Km以上 ※使用条件により異なります
Q2.最高速度はどれくらいですか？
A2.USMA-30：450mm/s、USMA-10：100mm/s
Q3.動作可能重量はどれくらいですか？
A3.USMA-30：2Kg、USMA-10：1Kg ※水平方向
Q4.位置決め精度はどれくらいですか？
A4.位置決めに使用するエンコーダに依存しますが、最小動作量20nmまで可能です
Q5.使用事例や検討候補はどんなものがありますか？
A5.電子顕微鏡のステージ、MRIなどの強磁場環境のステージ、半導体の検査装置、各種精密な位置決めが必要な製品に使用されています。超音波モータの特性を生かした、低速高トルクが必要な場合に使用されることが多いです。
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