セラフラット®(ピンホール改善基板)
セラフラット®は、ニッコー独自のプロセスにより、96%アルミナ基板の組成を維持したまま、基板表面のピンホールを低減し、高平滑な表面状態を実現したハイエンドアルミナ基板です。
薄膜回路において、基板表面のミクロな凹凸による不良にお困りではありませんか?
微細な表面欠陥を抑制することで、薄膜配線形成時に発生しやすい断線やショートを低減し、歩留まりの向上に貢献します。
主な用途
セラフラット®は、表面平滑性が要求される以下の用途に適しています。
・薄膜回路基板
薄膜回路基板とは、基板上に導電層や絶縁層の薄膜を形成した回路基板です。
厚膜回路と比較して高精度な回路形成が可能ですが、基板表面の微細な凹凸が歩留まりに大きく影響します。
セラフラット®はピンホール改善基板の登録商標です。

特長
高平滑表面
プロセス改善により、基板表面のミクロなピンホール(※)を低減し、高平滑な表面状態を実現しています。
※ピンホール≒窪み
歩留まり向上
表面配線形成時の断線やショートの発生を抑制し、製造歩留まりの改善に寄与します。
歩留まり改善により、製造コスト低減にも寄与します。
材料特性
| 項目 | 単位 | 測定条件 | セラフラット® NA-96PF | 96%アルミナ基板 NA-96 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 材質 | ― | ― | 96%Al2O3 | 96%Al2O3 | |
| 呈色 | ― | ― | 白色 | 白色 | |
| かさ密度 | g/cm3 | ― | 3.7 | 3.7 | |
| 吸水率 | % | ― | 0 | 0 | |
| 機械的特性 | 3点曲げ強度 | MPa | ― | 400 | 400 |
| 熱的特性 | 熱膨張係数 | 10-6/℃ | RT~400℃ | 6.8 | 6.8 |
| RT~800℃ | 7.8 | 7.8 | |||
| 熱伝導率 | W/(m・K) | 20℃ | 23 | 23 | |
| 電気的特性 | 誘電率 | ― | 1MHz | 9.2 | 9.2 |
| 誘電正接 | 10-4 | 1MHz | 10 | 10 | |
| 体積固有抵抗 | Ω・cm | 25℃ | >1014 | >1014 | |
| 300℃ | 1010 | 1010 | |||
| 500℃ | 108 | 108 | |||
| 絶縁耐力 | kV/mm | ― | >20 | >20 | |
| ピンホール | サイズ | μm | ― | 20程度 | ― |
| 頻度 | ― | ― | 少 | ― | |
デザインガイドライン
※基板は下記のサイズまで対応可能です
〜300×90mm
※板厚は下記サイズが対応可能です
0.635〜1.0mmt
※上記以外のデザインについては別途ご相談ください
カタログダウンロード
利用されている商品
セラフラット®は、以下のような製品に採用されています。
- 薄膜配線基板
- サーマルプリンターヘッド(グレーズ基板)