エアパスプレート®(多孔質高純度アルミナ基板)
エアパスプレート®は表面平滑性に優れた、多孔質の高純度アルミナ基板です。
原料は高純度アルミナ粉末のみでガラス不使用のアルミナ単一組成です。
ガラスからの成分汚染がないため、機能性部品の焼成用セッターとして選ばれています。
・ドクターブレード法を採用しているため薄くでき、段積みを増やすことが可能
・薄くなることで軽量化でき、ハンドリング性向上
・乾式プレス法では発生しやすい脱粒の抑制可能
・通気性がよくガスが溜まらず脱脂性が良いため、焼成時の割れ、キレを低減可能
・粒子の細かいアルミナを使用しているため平面平滑性に優れ、製品キズを軽減可能
エアパスプレート®は当社のアルミナ基板の登録商標です。
特長
セッター
高純度アルミナ基板をベースとしており、表面の平滑性に優れ、焼成物の特性、品質、歩留まり向上に貢献します。
反応性の高い材料の焼成にも最適です。
気孔率が選択可能
気孔率を制御しながら焼成しますので20%~35%までの気孔率をお選びいただけます。
材料特性
項目 | 単位 | NA-96 (標準アルミナ基板) | NA-99F |
---|---|---|---|
材質 | ― | 96%アルミナ | 99%以上アルミナ |
気孔率 | % | 0 | 25~35 |
密度 | g/cm3 | 3.7 | 2.9 |
曲げ強度 | MPa | 400 | 110 |
表面粗さ | μmRa | 0.3 | 0.2 |
最高使用温度 | ℃ | ー | 1300 |
デザインガイドライン
項目 | 単位 | 標準 | 特別仕様 |
---|---|---|---|
外形寸法 | mm | ~150×150 | ~300×150 |
厚み | mm | 0.8, 1.0 | 0.3~1.6 |
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