高純度アルミナ基板（99.5％アルミナ基板）

アルミナ純度99.5%以上と非常に高い純度で高い平滑性を持つセラミック基板であり、微細な配線回路や薄膜回路形成に適しています。 優れた電気絶縁性、高耐熱性、高強度といった特長も兼ね備え、パワーデバイス、車載部品、LED照明、各種電子デバイスの絶縁放熱基板など、過酷な環境下で使用される様々な用途に利用されています。

以下の用途におすすめです。
・薄膜微細配線基板
薄膜微細配線基板は、基板上に金属や酸化物などの薄膜を微細パターンで形成した回路基板です。線幅や膜厚が非常に小さいため、基板表面の平滑性や均一性が配線密着性や歩留まりに直結します。99.5％アルミナ基板は、Ra値0.1 μm以下の平滑な表面を実現し、薄膜配線の断線や剥離を防止、長期的な導通信頼性を向上させます。

・プラズマ発生装置用基板
プラズマ発生装置の基板は、高電圧や真空環境下での安定動作が求められる用途です。99.5%アルミナ基板は、高絶縁性・低誘電損失・高耐圧に優れ、プラズマ環境でも安定して使用可能です。さらに平滑な表面により、薄膜電極や微細配線の耐久性・密着性を確保できるため、信頼性の高いプラズマ装置設計を支援します。

・チップ抵抗体用基板
チップ抵抗体基板は、抵抗薄膜の均一な形成と精密なパターン制御が重要です。99.5%アルミナ基板は、表面平滑性に優れ、微細な凹凸が少なく、膜厚均一性が高いため、チップ抵抗体の精度と歩留まりの向上に寄与します。また、高強度でハンドリング性に優れ、加工中の破損リスクも低減できます。