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ビブレックス®

厚膜印刷用基板/薄膜印刷用基板

ビブレックス®とは圧電素子を使用したリニア型の超音波モータです。
圧電素子により超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動します。

ビブレックス®とは当社が開発した超音波モータの登録商標です。

特長

正確な微細動作
応答性に優れ、最小20nmの位置決め動作も可能です。
(USMA-30使用 弊社ドライバー制御時)
顕微鏡のステージなどの精密な位置決めが得意です。
磁気の影響を受けない
ビブレックス®は摩擦力を介して駆動させるモータであるため
電磁モータのように磁気を使用していません。
強磁場環境で使用するMRIなど、医療機器にもご利用いただけます。
小型 軽量 低速高トルク
ビブレックス®は当社独自の動作原理を採用しており、低速動作に減速機を必要としません。
そのため小型かつ軽量なモータでありながら低速高トルク特性を有しております。
静粛性に優れる
減速機を必要としないために、ギア音がなく静粛性があります。
無通電時に保持トルクを有する
摩擦駆動方式のため電源OFF時でも位置を保持することができます。
【一般的な電磁モータと超音波モータの比較】
ビブレックス

仕様

ビブレックス

※代表値であり保証値ではありません

ドライバーについて

本モータは従来の電磁モータ、他社超音波モータとは異なる動作原理で駆動するものです。
モータ性能を十分発揮できるように各用途に応じたモード変更可能な専用の駆動ドライバーを準備しております。

応用製品例

  • ・顕微鏡ステージ(直動、回転)
  • ・半導体検査装置
  • などの各種精密位置決め機構
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